超导量子芯片代工与联合开发

让量子芯片创新,拥有可靠的制造与协同平台

依托成熟的量子芯片工艺基线与先进垂直集成技术,加速客户设计从概念验证走向高质量器件;携手合作伙伴,共建面向未来量子计算的集成生态。

超导量子芯片制造设备腔体特写

两种合作方式

从可靠制造,到共同建立新能力

基线工艺

覆盖器件、布线、集成与材料的工艺平台

基线工艺
01

QUBIT DEVICES

量子比特

  • 阴影蒸发工艺
  • 重叠约瑟夫森结工艺
  • 约瑟夫森结阵列工艺
  • 超紧凑约瑟夫森结阵列
02

CONTROL / WIRING

控制与布线

  • 高品质因子谐振腔
  • 半覆盖接地屏蔽桥
  • 全覆盖接地屏蔽桥
  • 超导金属凸点
  • 常导金属凸点
03

VERTICAL INTEGRATION

垂直集成技术

  • 高深宽比硅通孔
  • 双面图形化
  • 超导凸点下金属层
  • 芯片到芯片键合
04

MATERIAL STACK

材料体系

  • 钽 / 铌 / 铝
  • 氮化钛 / 氮化铌
  • 贵金属常导材料
  • 高动能电感材料
  • 绝缘介质层材料

从版图到工艺能力

每一步都有明确的技术交付

01需求与版图评审
02工艺路径定义
03制造与过程监控
04器件与技术包交付

与我们共同构建

把下一次量子硬件迭代,变成可交付的成果

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